1、蓝宝石加工流程
1.1衬底蓝宝石片制程
从蓝宝石晶锭到.后的衬底蓝宝石片,主要包括以下步骤:长晶→ 掏棒→ 头尾截断→滚磨→晶棒定向→切片→倒角磨边→粗精研磨→CMP抛光。每一个步骤均需要配备不同的金刚石工具来完成,主要工具有钻头、砂轮、线锯等。
长晶:利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体;
掏棒:使用蓝宝石钻头(高精度套料钻头)从蓝宝石晶体中掏出蓝宝石晶棒;
滚磨:使用金刚石砂轮(树脂结合剂或金属结合剂)进行晶棒的结晶方向平研、外径研磨,得到..的外圆尺寸精度;(19.现在粗磨一般是金属砂轮、精磨是陶瓷砂轮,也有企业用树脂砂轮粗精磨)
定向:在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置,便于精准切片加工;
切片:使用金刚石线锯将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片;
倒角磨边:采用金属结合剂金刚石砂轮将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度;
研磨:去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平面度。分粗研磨和精研磨,涉及的磨料磨具产品主要有金刚石磨盘、金刚石研磨液、金刚石背面减薄砂轮等;
抛光:改善晶片粗糙度,使其表面达到外延片磊晶级精度,多使用CMP抛光液。
1.2 封装制程
磊晶及封装制程主要包括以下步骤:衬底片→外延片→蒸镀刻蚀→热处理→背面减薄→研磨抛光→划片测试→固晶→打线封装→切割→测试。主要涉及的磨料磨具产品为金刚石超薄划片刀、金刚石背面减薄砂轮、研磨液、抛光液等。
2 结语
1)蓝宝石行业使用的磨料磨具产品较多,值得磨料磨具行业同仁关注。
2)由于工件(蓝宝石)附加值高,相应的金刚石工具性能要求高、稳定性必须好,新郑市利发磨料磨具公司生产的砂轮是很多厂商的不二选择